半導体製造装置コータ・デベロッパの温度制御・温度管理

半導体製造装置コータ・デベロッパは、感光剤の塗布と現像を行う装置です。ウェーハ上にフォトレジストを塗布した後、露光装置により微細な回路パターンが転写され作られます。特に温度管理は重要で、温度制御用サーモスタットとして温度パワーセンサー･TPS＝MQT8K K40XAは装置内に数多く組込み、温度信号を取る為に、サーミスタ制御や熱電対の代替に使われています。工程内での温度管理に大きく役立っております。