半導体・液晶半導体製造装置用リニアモーター温度管理
半導体 温度制御事例

半導体・液晶半導体製造装置用リニアモーター温度管理

半導体・液晶半導体製造装置用リニアモーター温度管理にマツオの温度パワーセンサー・TPSが採用されています。MQT8KT 50XCは装置内の温度上昇時に50℃以上でOFFになる仕様で、小型・長寿命の点からも採用された点です。

半導体・液晶半導体製造装置用リニアモーター温度管理
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