半導体　温度制御事例

半導体製造装置コータ・デベロッパは、感光剤の塗布と現像を行う装置です。ウェーハ上にフォトレジストを塗布した後、...

チラー（熱交換器）の温度管理としてマツオの温度パワーセンサー・TPSが採用されております。熱交換器の中の水槽温...

半導体・液晶半導体製造装置用リニアモーター温度管理にマツオの温度パワーセンサー・TPSが採用されています。MQ...

クリーンルームのヒーター制御用及び、制御（PID制御）のためのSSC（ソリッド・ステート・コンタクタ）の温度管...