電子顕微鏡のデフュージョンポンプ(真空ポンプ)の温度管理
温度制御事例集
産業用 温度制御事例

電子顕微鏡のデフュージョンポンプ(真空ポンプ)の温度管理

広い研究分野および産業分野のニーズに対応すべく、観察から元素分析まで、ひとつのマウスで快適に走査を行える分析走査電子顕微鏡です。試料室を真空状態にする為のディフュージョンポンプに、温度制御用サーモスタットのマツオの温度パワーセンサー・TPSが採用されております。
ポンプの温度上昇を検地するためにMQT8K 60XDで60℃以上になったら接点がOFFになり、50℃くらいで再び接点がONになります。電子顕微鏡のデフュージョンポンプ(真空ポンプ)の温度管理に長寿命、小ディファレンシャルの温度パワーセンサーで簡単に温度管理ができます。

電子顕微鏡のデフュージョンポンプ(真空ポンプ)の温度管理
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