クリーンルーム内のヒーターの温度制御と温度管理用
温度制御事例集
サーミスタ制御の代替 温度制御事例

クリーンルーム内のヒーターの温度制御と温度管理用

クリーンルームのヒーター制御用及び、制御(PID制御)のためのSSC(ソリッド・ステート・コンタクタ)の温度管理用のサーモスタットとして、マツオの温度パワーセンサーがサーミスタ制御の代替として使用されています。ヒーターの制御にはM2 40XDを使用し40℃にてヒーターをコントロール致します。温度管理用は、M2 60XD、M2 80XDの2機種で過熱防止対策を行います。小ディファレンシャル・長寿命であるマツオの温度パワーセンサーが温度コントローラーとして役立っております。

クリーンルーム内のヒーターの温度制御と温度管理用

クリーンルーム用制御盤

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